Edwards Auto 306 Coating

TECHNISCHE DATEN

Fahrbare Beschichtungsanlage im Rahmengestell bestehend aus:

1) Vacuumkammer FL400 Edelstahl mit Auskleidungsblechen

2) Turbopumpe magnetgelagert Seiko Seiki

3) Rot. Pumpe mit Ölnebelfilter

4) 2x Elektrische Abdeckblenden

5) Quarzheizung vorbereitet

6) LV Transformator für Verdampfer

7) LV Transformator für Beglimmung / Beglimmungsvorbereitung

8) Elektrode für 2 Verdampfer ist verbaut

9) Schichtdickmessung mit Quarzhalter

10) Feinst Nadelventil für Gaseinlass

11) Meßsystem Pirani / Penning

12) Vollautomatisches Steuersystem

13) Kühlfalle für Flüssigstickstoff ist vorhanden

14) Anschluß für Rotatilt ist vorhanden

15) Quarzschauglas mit Periskop Glasschutz

16) 1x KF 25, 1x CF 40-Flansch ist an der Rückwand der Kammer vorhanden

Die Anlage ist überholt und kann mit Flüssigstickstoff betrieben werden.

Dieses Produkt ist generalüberholt

Abbildung ähnlich